SEM
- 주사전자현미경 : Scanning Electron Microscope
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금속, 반도체, 세라믹, 고분자, 유기물, 바이오 등 재료 및 나노 소재의 형상 및 형태를 관찰하는 장비로 표면의 거칠기,
미세 입자, 단면 두께 측정 등 광범위하게 활용되고 있습니다. 저희 장비는 전도성이 낮은 샘플들도 Low vacuum 모드를
이용하여 Charging effects 현상을 줄이면서 분석 가능하며, EDS를 통해서 재료의 정성∙정량 분석도 가능합니다.
Equipment Information
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FE-SEM (FEI Quanta FEG 250)
- High Resolution : 2nm at 30keV (X 150K)
- Magnification : ~ 500,000
- High Vacuum / Low Vacuum
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EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
- Detector size : 10㎟
* Point & Area
* Mapping
* Line scan
이미지 분석
EDS분석 - Area / Point
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- L.sec : 204.8
- 5.556K Cnts
- 0.840 keV
- Det : Apollo XP-SDD
